第183章 招揽浸润光刻机之父林苯坚(第2/2 页)
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32纳米。
如此，投射到硅片的图案分辨率将更为清晰，晶片的密度也可更上一层楼。
他通过不懈努力和反复实验，证明了这个方案的可行
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